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空气轴承定位平台
空气轴承定位平台特征针对先端半导体与面板制程设备所开发之奈米空气轴承定位平台。领先同业采用新型真空预压低耗能气浮轴承、动态反作用力平衡与惯性补偿技术,可于千分之
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空气轴承定位平台特征
针对先端半导体与面板制程设备所开发之奈米空气轴承定位平台。领先同业采用新型真空预压低耗能气浮轴承、动态反作用力平衡与惯性补偿技术,可于千分之一秒内达到奈米误差内要求,大幅减少运动整定时间与组件磨耗率,提升设备生产力与可靠性。完整智能化远程系统侦测与全球客服支持提供,帮助客户大幅缩短设备开发时程,节省许多整合时间与成本,使其更聚焦本身关键制程Know-how。
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